Beijing Wayes Vacuum Technology Application Co., Ltd.
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手套箱一体磁控溅射镀膜机
Category:
定制设备【旧的--已隐藏】
磁控溅射镀膜机
Product description
技术文件
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手套箱集成多靶磁控镀膜系统 |
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一、整机简述 |
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特点/用途 |
该设备为纳米薄膜沉积系统与手套箱系统结合，钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、金属电极薄膜等产业研发专用设备。 具有高真空多靶磁控溅射与金属电阻蒸发和手套箱环境的器件制备检测及后期处理等。广泛应用于纳米薄膜光电子器件制备及生产线前期工艺试验等。 |
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产品图片（仅供参考，具体以需求为准） |
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二、设备主要技术参数 |
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真空腔室 |
L400×W400×H450mm（具体尺寸以设计为准），立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱内部；前开门便于溅射靶材及样片在保护气氛下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离）；整机控制位于手套箱下面，节约占地面积； |
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样品台 |
公自转基片台，尺寸Φ120mm，可定制一体化高精度刻蚀mask，配有基片台挡板； |
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真空系统 |
机械泵+分子泵，真空极限可达6.0×10-5Pa（手套箱气氛条件下）；真空测量“两低一高”数显复合真空计。 |
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真空抽速 |
大气～5×10-4Pa ≤ 30min（手套箱气氛中）； |
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溅射靶 |
Φ3 英寸 2 只（含靶挡板），靶角度及靶基距可调，各靶均有水冷，保证各靶长时间稳定工作兼容直流/射频电源溅射； |
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溅射电源 |
2台500W全自动匹配射频溅射电源； |
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膜厚仪 |
进口Inficon SQC-310单水冷探头膜厚仪，测量精度0.01Å，可在线监测蒸发速率和膜厚； |
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质量流量计 |
200sccm、20sccm 质量流量控制器各1套； |
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控制方式 |
PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、实现一键抽停真空； |
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手套箱系统 |
详见手套箱技术方案 |
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三、设备主要配置表 |
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序号 |
部件名称 |
型号/参数 |
数量 |
生产厂家 |
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1 |
真空腔室 |
L400×W400×H450mm，1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢 |
1 套 |
浅蓝纳米 |
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2 |
分子泵 |
FF-200/1200复合分子泵 |
1 套 |
中科科仪 |
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3 |
机械泵 |
TRP48，14L/s |
1 台 |
北仪优成 |
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4 |
真空规 |
“两低一高”数显复合真空计 |
1 台 |
成都睿宝 |
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5 |
磁控靶 |
Φ3 英寸 （含靶挡板），兼容直流/射频电源溅射； |
2 只 |
浅蓝纳米 |
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6 |
溅射电源 |
2台500W全自动匹配射频溅射电源； |
2 台 |
英杰电气 |
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7 |
质量流量计 |
200sccm、20sccm 质量流量控制器； |
2 套 |
WARWICK |
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8 |
膜厚仪 |
SQC-310单水冷探头膜厚仪，测量精度0.01Å |
1 套 |
Inficon |
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9 |
控制系统 |
PLC+触摸屏智能控制系统 |
2 套 |
浅蓝纳米 |
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10 |
冷水机 |
1P |
1 台 |
浅蓝纳米 |
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11 |
前级阀 |
GDQ-40b 气动挡板阀 |
1 套 |
浅蓝纳米 |
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12 |
旁路阀 |
GDQ-40b 气动挡板阀 |
1 套 |
浅蓝纳米 |
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13 |
插板阀 |
CCQ-200A |
1 套 |
中科科仪 |
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14 |
放气阀 |
Φ10mm，电磁截止阀 |
1 套 |
七星华创 |
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15 |
基片台 |
公自转基片台，尺寸Φ120mm，可定制掩膜板； |
1 套 |
浅蓝纳米 |
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16 |
真空管路 |
波纹管、真空管道等 |
2 套 |
浅蓝纳米 |
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17 |
手套箱 |
双工位 |
1 套 |
米开罗那 |
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18 |
备件 |
CF35 铜垫圈及氟密封圈全套等 |
1套 |
浅蓝纳米 |
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四、设备安装条件（用户自备） |
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供电要求 |
①设备供电总功率≤3KW，220V，单相三线制（一火一零一地）； ②插座距离设备尺寸≤2m； ③其它：如用户选配其它选购件，用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内； |
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供水要求 |
①设备需水冷的部件有磁控靶、蒸发电极、磁流体，膜厚仪探头等； ②水压 0.2～0.4MPa，水温 10～25℃； |
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安装场地要求 |
①长×宽: L150cm×W90cm |
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环境要求 |
①环境温度：5～40℃； ②环境湿度：＜85%R.H； ③室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体； |
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五、售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料 |
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售后服务 |
①产品质保期为一年； ②在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏； ③在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费； ④质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电 话或邮件通知）后，我公司技术人员于 48 小时内，赶到技术服务现场并开 始维修。 |
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安装调试验收 |
①我公司负责将设备初验收合格后，包装好免费运送至客户所在地，经检验后拆封，供方开始安装调试，运输费用及安装调试费用我司负责； ②我公司根据客户要求，负责组织专业人员对设备进行安装调试，客户需提供基本的安装条件和专人配合，以确保安装调试的顺利进行； ③设备安装调试到位后，双方组织验收，并对验收单进行验收签字； ④我公司向客户提供的设备资料包括：设备说明书、验收单、装箱单、产品合格证、备品备件清单； ⑤我公司在客户安装现场进行的设备验收发生的一切费用由我司承担； |
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培训 |
①我公司派技术工程师对客户人员在设备安装调试时进行技术培训。使需方人员能掌握有关设备的使用、维护，达到能独立进行操作、维护等的目的。 ②培训地点为客户设备使用现场，培训人数不少于 2 人，培训时间根据实 际情况而定，培训费用由我司承担； |
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文档资料 |
①设备操作、维护使用说明书 1 套； ②设备电气原理图 1 套； ③设备出厂合格检验证明。 |
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北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司 版权所有 不得转载 |
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手套箱技术方案
1. 手套箱功能：
- 密闭循环
手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧
- 自动控制再生
除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制
- 自动清洗
手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成
- 箱体压力控制
手套箱内压力通过PLC自动控制, 工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护
- 真空泵自动控制
真空泵要求在系统需要时自动开启
2. 主要组成和基本配置：
集成有封闭的箱体（带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗）、过渡舱、循环净化单元(单柱)、PLC控制及触摸屏操作系统，真空系统、显示系统、支架等
包括：
- 1个304不锈钢的箱体，耐酸，厚度3 mm
- 1个不锈钢制成的真空过渡室，直径360mm， 长度600mm，右侧
- 2个小的过渡室，直径150mm，长度300mm，左右侧
- 1个带4个手套口的前窗
- 2副丁基橡胶手套
- 1套照明系统
- 1个箱内电源接口
- 1台高性能的循环风机
- 1台真空泵
- 1套PLC控制及触摸屏操作系统
- 4个盲板法兰
- 1个支架脚轮
- 1个脚踏开关
- 1台水分析仪
- 1台氧分析仪
- 1个有机溶剂吸附器
3. 关键部件来源
真空泵 EDWARDS（英国）
循环风机 DARGANG （中国台湾）
水分析仪 VTI （美国）
氧分析仪 VTI （美国）
压力传感器 HALSTRUP-WALCHER（德国）
净化材料 BASF、BAYER（德国）
丁基手套 NORTH（美国） 或同等品牌
电磁阀门 BURKET （德国）
管道接头 LEGRIS （法国）
PLC 控制系统和触摸屏 SIEMENS（德国）
压力表 WIKA （德国）
变频器 SIEMENS（德国）
集成阀座 MIKROUNA（定制）
4. 主要参数：
水、氧指标：小于1 ppm；
5.技术指标：
1）手套箱箱体
- 箱体：
材料：304 不锈钢，厚度 3mm
内表面：不锈钢拉丝处理
外表面： 喷漆，白色
内部尺寸： 长度： 2440mm；深度：750mm；高度： 900mm
- 前窗： 倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8 mm
- 手套口：材料为铝合金，O型圈密封 ，自润滑性能好，易于维护
- 手套： 丁基橡胶，直径 8”，长度32”
- 过滤器： 规格 0.3 微米，1个气体入口和1个气体出口
- 箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方
- 接口： 备用接口4个， DN 40 KF，需要增加接口，可另外注明，
电源接口 1 个 （220V）
2) 大过渡舱
- 过渡舱
尺寸：直径 360mm，长度 600mm
材料：304不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷漆（白色）
- 附件
滑动托盘：304不锈钢
舱门：双门，阳极氧化铝材料，厚度 10mm，竖直操作，带提升机构
压力表：模拟显示
- 控制
电磁阀触摸屏自动操作
3) 小过渡舱
- 过渡舱
尺寸：直径 150mm，长度300mm，进入手套箱部分长度100 mm
材料：304 不锈钢
表面：内表面为拉丝处理，外表面喷漆（白色）
- 附件
舱门：双门，翻盖式锁紧
压力表：模拟显示
- 控制
手动阀手动操作
4）气体净化循环系统
- 净化柱
功能：气体密闭，除水、除氧
容器材料：304不锈钢
净化材料：铜触媒： 5kg，分子筛： 5kg
净化能力：除氧：60L，除水：2Kg
水氧指标：小于1ppm
- 循环系统
工作气体：氮气、氩气
循环能力：集成风机流量90m3/h，加装变频
- 再生
操作：PLC自动控制再生过程
再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5-10%)
- 真空泵
规格：8m3 /h，旋片泵，带油雾过滤器 ，气振控制
- 阀门
主阀：DN 40 KF ，电气动角阀
控制阀：电磁集成阀 (不锈钢集成阀座，单柱为六个阀集成)， 减少和优化了系统管路
布置，减少了漏点，简化了检漏环节，使设备稳定可靠。
5）控制系统：
- 功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用西门子PLC触摸屏。
- 压力控制： 控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护；
- 脚踏板： 控制箱体压力，方便操作升压和降压
6）显示系统：采用西门子PLC 触摸屏smart700，显示运行状态，箱体压力、系统记录等
7）真空系统控制情况
真空泵，可手动或通过PLC启动，流量8m3 /h，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤2x10-1pa
8）手套箱配件
- 水分析仪
测量范围：0～500ppm
应用范围广，尤其对于锂电制造及金属有机等用户，水探头可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了一次污染即报废的问题，后续维护成本低。
- 氧分析仪
测量范围： 0～1000ppm
采用ZrO2传感器，避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在空气中的问题，后续维护成本低。
- 有机溶剂吸附器
尺寸：直径136mm，高度256mm，填充2kg活性炭，循环气体可首先通过吸附器，吸附挥发的有机溶剂气氛。可快速更换吸附材料，并且不破坏高纯气氛。
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